罗茨真空泵是一种旋转体积真空泵。其结构由罗茨鼓风机演变而来。1944年出现在其他国家,真空熔炼系统应在10~1000Pa的压力范围内抽速。近年来,罗茨泵在国内外发展迅速。广泛应用于冶炼、石化、电工、电子等行业。
罗茨真空泵的优点。
根据罗茨真空泵的不同工作压力范围,可分为低真空罗茨泵,直接排放大气。中真空罗茨泵(以下简称罗茨泵)在国内常用。罗茨泵具有以下优点:
1.在较宽的压力范围内,泵送速度稳定,气体突然排出,弥补了油封机械泵和扩散泵的不足,适用于机械增压泵。如有水封或油封,可大气抽真空,也适用于大抽速粗真空泵。
2.设计先进,结构合理,转子与泵体间隙,无接触,无润滑,摩擦损失小,能以较低的动力获得较大的抽速,节能效果明显。
3.转子几何对称性好,工作稳定,通过提高转速可以获得大抽速,结构紧凑,体积小,重量轻。
4.泵腔内无气体压缩,运动部件之间有间隙,对吸入气体的灰尘和水蒸气不敏感。
5.泵腔不需要油密封和润滑,可以避免油蒸气对真空系统的污染,有利于获得无油真空。
6.罗茨真空泵无需进排气阀,结构简单,噪音低,功率低,泵腔运动部件不接触,不易损坏,维护成本低。
7.启动快,能在短时间内达到真空。